RPS-SONIC: Merilo za industrijalizaciju ultrazvučnog raspršivanja TCO tankih filmova

U talasu industrijalizacije tehnologije pripreme TCO transparentnog provodljivog filma, RPS-SONIC je, sa svojim ciljanim tehnološkim istraživanjem i razvojem i dizajnom zasnovanim na scenariju-, učinio svoju opremu za raspršivanje ultrazvučnom atomizacijom osnovnim izborom opreme u fotonaponskim uređajima, displejima i građevinarstvu. On ne samo da ispunjava osnovne zahtjeve industrije za "visoku propusnost svjetlosti, nisku otpornost na ploče i zelenu efikasnost", već također promovira tranziciju TCO pripreme tankog filma iz laboratorije u proizvodnju velikih-razmjera kroz preciznu kontrolu parametara i stabilan rad.

RPS-SONIC ultrazvučna oprema za raspršivanje za raspršivanje, zasnovana na tehnologiji atomizacije visoke-vibracije, formirala je diferenciranu matricu proizvoda za potrebe pripreme tankog filma TCO, sa svojim osnovnim tehnološkim karakteristikama koje pokazuju posebno izvanrednu prilagodljivost pripremi TCO. Oprema uglavnom usvaja dvije -šeme visokofrekventnih vibracija: 40 kHz i 60 kHz. Među njima, 40kHz fokusirana ultrazvučna mlaznica za raspršivanje, kroz poseban dizajn kanala suženog protoka, može učiniti da se plin nosač ravnomjerno skupi i atomizira otopinu prekursora TCO (kao što je ITO, AZO, FTO sol) u ujednačene kapljice od 15-40μm. Greška ujednačenosti distribucije kapljica je kontrolirana unutar ±3%, što savršeno odgovara zahtjevima za precizno debljinu TCO filmova od 10nm-500nm. Za rješenja prekursora niske-viskoznosti (0 cps) TCO, oprema postiže preciznu kontrolu protoka od 0,5-20 ml/min. U kombinaciji sa podesivom visinom prskanja od 30-80 mm i dizajnom vodiča niskog pritiska od 0,5 MPa, izbegava probleme prskanja kapljica kod tradicionalnog prskanja pod pritiskom, istovremeno osiguravajući gusto taloženje kapljica na površini supstrata. Ovo rezultira fluktuacijama otpornosti TCO folije koje se kontrolišu unutar ±5%, a propusnost vidljive svjetlosti stabilizirana na 85%-95%, u potpunosti ispunjavajući zahtjeve performansi vrhunskih aplikacija kao što su fotonaponske ćelije i fleksibilni displeji.

Nadovezujući se na osnovne prednosti pripreme TCO filma, RPS-SONIC dodatno pojačava industrijsku vrijednost tehnologije ultrazvučne atomizacije. Prvo, oprema se može pohvaliti značajnim prednostima u korištenju materijala i kontroli troškova. Kroz "atomizaciju bez pritiska" i fokusirani dizajn raspršivanja, stopa iskorištenja otopine TCO prekursora dostiže do 90%, štedeći preko 80% potrošnje materijala u poređenju sa tradicionalnim procesima magnetronskog raspršivanja. Ovo je posebno korisno u pripremi ITO tankih filmova, gdje su resursi indija oskudni, jer značajno smanjuje gubitak plemenitih metala, čime se smanjuju troškovi proizvodnje za preduzeća. Drugo, pokazuje izuzetno jaku kompatibilnost supstrata. Oprema koristi vrlo nisku kinetičku energiju kapljica tokom atomizacije, što predstavlja tipičan proces pripreme na niskim{8}}ima. To ga čini pogodnim ne samo za krute podloge kao što su staklene i silikonske pločice, već i za fleksibilne podloge kao što su PET i PI. Ovo rješava bolne točke tradicionalnih procesa u fleksibilnoj pripremi tankog filma TCO, koji lako dovode do deformacije podloge i degradacije performansi, pružajući pouzdano rješenje za TCO proizvodnju tankog filma u poljima kao što su fleksibilni OLED ekrani i nosivi uređaji. Treće, kombinuje skalabilnost i stabilnost. Oprema podržava nizove više-mlaznica, sa širinom jednog prskanja od 1-3 metra. U kombinaciji sa podesivim dizajnom snage od 10-100W, može zadovoljiti potrebe malih-serijskih istraživanja i razvoja u laboratorijama, kao i veliku proizvodnju uređaja velikih dimenzija kao što su fotonaponski moduli i arhitektonsko staklo. Nadalje, oprema nema pokretne dijelove koji se habaju i habaju, a mlaznice su manje sklone začepljenju, smanjujući zastoje u proizvodnji i osiguravajući stabilnost kontinuirane proizvodnje.

U smislu industrijske primjene, RPS-SONIC oprema za ultrazvučno raspršivanje raspršivanjem je uspostavila nekoliko referentnih slučajeva u polju pripreme tankog filma TCO. U fotonaponskoj industriji, njegova oprema se koristi za prskanje AZO/TCO prozirnog provodnog sloja perovskitnih solarnih ćelija. Preciznom kontrolom veličine kapljica i stope taloženja, efikasnost fotoelektrične konverzije ćelija je poboljšana za 2-3 procentna poena. Trenutno je ušao u pilot liniju tandem ćelija 1GW-nivoa perovskita-silicijumske heterojunkcije vodeće domaće fotonaponske kompanije, pomažući u postizanju masovne proizvodnje velikih razmjera. U polju prikaza, za pripremu ITO/PET kompozitnih filmova za fleksibilne OLED ekrane, oprema i dalje može osigurati da je stopa promjene otpornosti TCO filma manja od 10% i da propusnost svjetlosti ostane iznad 92% na fleksibilnoj podlozi sa radijusom savijanja od 5 mm.

Ovo pomaže daljnjim proizvođačima da poboljšaju prinos fleksibilnih ekrana sa 75% s tradicionalnim procesima na 88%, postajući osnovna podrška opreme za lanac industrije fleksibilnih ekrana. U oblasti arhitektonskog pametnog stakla, oprema se koristi za prskanje AZO prozirnih provodljivih filmova za elektrohromno staklo, čime se postiže kontrola greške debljine od ±2nm. Ovo rezultira brzinom elektrohromskog odgovora manjom ili jednakom 10 sekundi i životnim vijekom od preko 100.000 ciklusa. Istovremeno, visoka propusnost svjetlosti i otpornost na koroziju filma osiguravaju-dugoročni stabilan rad pametnog stakla, a primijenjen je u proizvodnji pametnih prozora u mnogim-projektima vrhunskih zgrada u zemlji i inostranstvu. Nadalje, oprema Hangzhou Gonglua može se pohvaliti izuzetnom svestranošću, omogućavajući ne samo pripremu TCO tankog filma već i kompozitno prskanje funkcionalnih filmova kao što su premazi protiv-magle i -premazi protiv korozije sa TCO slojevima. Na primjer, može istovremeno prskati FTO prozirni provodljivi sloj i premaz protiv-premazanja na površinu fotonaponskog stakla, dodatno poboljšavajući ukupne performanse uređaja. U budućnosti, uz promociju TCO materijala-bez indija (kao što su AZO i GZO) i integraciju tehnologije vizuelne inspekcije AI, očekuje se da će oprema Hangzhou Gonglu postići još veće ciljeve performansi, uključujući propusnost svjetlosti koja prelazi 98% i otpor lima ispod 5Ω/□, i kontinuirano TCO reflektujuću tehnologiju pripreme.

Kao industrijsko mjerilo u polju ultrazvučnog raspršivanja raspršivanjem, RPS-SONIC oprema, sa svojom preciznom kontrolom parametara, stabilnim radom i širokom prilagodljivošću primjene, pruža osnovnu podršku za veliku-visoko-kvalitetnu proizvodnju TCO transparentnih provodljivih filmova. Njegova tehnička rješenja ne samo da zadovoljavaju trenutne potrebe razvoja optoelektronske industrije, već će također igrati ključnu ulogu u tehnološkim inovacijama u novim područjima kao što su fleksibilna elektronika i nova energija u budućnosti.