Ultrazvučni sprej premaz: Poželjna metoda premazivanja za industriju poluprovodnika

RPS-sonic proizvodi ultrazvučnu opremu za premazivanje posvećenu pružanju inovativnih tehnologija i rješenja za prskanje proizvoda za kupce u industriji poluprovodnika. Pruža napredna rješenja za ultrazvučno raspršivanje domaćim proizvođačima poluvodičke opreme, proizvođačima elektronske opreme i istraživačkim institucijama.

Ultrazvučno raspršivanje fotorezistom je osnovna tehnologija za precizno nanošenje fotootpornog premaza u proizvodnji poluvodiča i mikroelektronike. Njegove osnovne prednosti su ujednačen premaz, tanak film i ušteda materijala.

 

Osnovni princip: Tečni fotorezist se razbija na kapljice veličine nano- do mikrona- pomoću ultrazvučne vibracije. Ove kapljice se zatim precizno isporučuju na površinu supstrata (kao što su silikonske pločice ili staklo) putem protoka zraka, formirajući jednoličan tanak film. Veličina kapljice je kontrolirana i frekvencijom vibracija i viskoznošću fotorezista; što je frekvencija veća, to su sitnije kapljice.

 

Ključne vrijednosti primjene: Visoka preciznost premaza: Odlična uniformnost kapljica; Devijacija debljine filma može se kontrolisati unutar ±5%, prilagođavajući se zahtjevima preciznosti mikro- i nano{2}}fabrikacije.

 

Visoka iskorišćenost materijala: U poređenju sa tradicionalnim centrifugiranjem (sa stopom otpada materijala većom od 50%), raspršivanje raspršivanjem zahteva samo malu količinu fotootpornosti da bi se postigla ciljna debljina filma, čime se uštede troškovi.

 

Pogodno za složene podloge: Može se koristiti za premazivanje ne-planarnih, velikih-podloga ili nepravilnog oblika, izbjegavajući probleme s-debljinom i središtem-problema uzrokovanih centrifugalnom silom u centrifugiranju premaza.

 

Smanjuje defekte: Kapljice su slobodne od udara visokog-pritiska, smanjujući defekte kao što su mjehurići i rupice u fotorezist filmu, poboljšavajući rezoluciju i konzistentnost uzoraka fotolitografije.

 

Tipične primjene:

Proizvodnja poluprovodničkih čipova: Koristi se za fino premazivanje fotorezista na površinama pločice, podržavajući osnovne procese kao što su fotolitografija i jetkanje.

 

Proizvodnja panela za displej: Prilagođeno za fotootporni premaz na podlogama OLED, Micro LED i drugih uređaja, osiguravajući ujednačenost piksela.

Mikro-Elektro-mehanički sistemi (MEMS): Pruža precizne fotootporne filmove za izradu mikrostrukture uređaja kao što su mikro-senzori i aktuatori.

 

Odabir prave opreme za raspršivanje ultrazvučnog fotorezista zahtijeva sveobuhvatno razmatranje više faktora, uključujući preciznost prskanja, karakteristike tekućine, tip opreme i tip mlaznice. Evo ključnih tačaka odabira:

 

Zahtjevi za preciznost raspršivanja: Za pripremu tankih filmova nanorazmjera, kao što je prskanje fotootporom na poluvodičkim pločicama, prikladne su mlaznice za atomizaciju od 100-12 kHz. Oni omogućavaju preciznu kontrolu ekstremno niskih brzina protoka i ultra{4}}finih atomiziranih čestica. Za pripremu ravnomernih premaza samo na nivou mikrona, mlaznice za atomizaciju od 40-60 kHz su efikasnije, balansiraju brzinu protoka i efikasnost prskanja uz održavanje određenog nivoa preciznosti.

Karakteristike tečnosti: Viskoznost fotorezista je ključna stvar. Za niski-viskozitet (<30cP) photoresists, 100-120kHz is appropriate; while for medium-to-high viscosity (30-50cP) photoresists, 40-60kHz is more suitable. Furthermore, the volatility and corrosiveness of the photoresist must be considered. If the photoresist is corrosive, an external atomization nozzle should be selected.

 

Vrsta opreme: Za malu-serijsku proizvodnju ili malu-proizvodnju tankih-filmova u laboratoriji, pogodan je mali, lak--upotrebljiv-laboratorijski-sistem za premazivanje, kao što je RPS-SONIC-P400. Za velike-proizvodne linije, potreban je podni-stojeći/proizvodni-sistem za nanošenje spreja, kao što je RPS-SONIC-P 490. Ovaj sistem može biti opremljen sa višestrukim sistemima mlaznica za postizanje velike-površine prskanja, ovisno o potrebnoj površini.

 

Vrsta mlaznice: Ako je supstrat ne-planarni poluvodič sa površinskom mikrostrukturom, može se odabrati raspršujuća ultrazvučna mlaznica. Može prskati okomite ili zakrivljene površine sa uglovima. Za prskanje fotootporom na velikim-oblastima, kao što je tankoslojno -prskanje solarnim ćelijama, prikladnija je široka- ultrazvučna mlaznica za raspršivanje. Njegov poseban dizajn kanala za protok raspršuje i preusmjerava plin nosač, uzrokujući raspršivanje ultrazvučno raspršene tekućine u obliku ventilatora, čime se širi širina raspršivanja.

 

Ultrazvučna frekvencija: Frekvencija ima odlučujući utjecaj na veličinu atomiziranih čestica i kvalitet premaza. Visoke frekvencije (kao što je iznad 100 kHz) mogu proizvesti manje, ujednačenije kapljice, što ih čini pogodnim za pripremu tankih, ujednačenih premaza visoke glatkoće površine, jakog prianjanja i dobre gustine. Ovo je primjenjivo na polja s izuzetno visokim zahtjevima za preciznošću, kao što je mikroelektronika. Ako zahtjevi za ujednačenost premaza nisu posebno strogi i potrebna je velika zapremina premaza, može se odabrati uređaj niže frekvencije.